原因：
1. 缓存文件路径错误：可能是由于缓存文件的路径不正确，导致无法找到缓存文件。
2. 权限问题：在清理缓存时，需要具有足够的权限才能删除文件。如果没有足够的权限，可能会导致清理失败。
3. 系统资源不足：在清理大量缓存时，可能会占用过多的系统资源，导致清理失败。
4. 网络连接问题：在清理缓存时，需要连接到互联网。如果网络连接不稳定或中断，可能会导致清理失败。
5. 软件冲突：安装的某些软件可能与Chrome浏览器发生冲突，导致清理缓存失败。
解决方案：
1. 检查缓存文件路径：确保缓存文件的路径正确，可以查看Chrome浏览器的设置选项，检查缓存文件的位置是否正确。
2. 提高权限：在清理缓存时，需要具有足够的权限。可以尝试使用管理员权限运行Chrome浏览器，或者联系系统管理员获取权限。
3. 释放系统资源：在清理缓存时，尽量避免占用过多的系统资源。可以关闭其他不必要的程序和进程，释放系统资源。
4. 检查网络连接：在清理缓存时，需要连接到互联网。确保网络连接稳定，避免因网络问题导致清理失败。
5. 卸载冲突软件：如果发现某个软件与Chrome浏览器发生冲突，可以尝试卸载该软件，以解决冲突问题。